松江蔡司扫描电镜是上世纪60年代作为商用电子显微镜问世以来，迅速发展起来的一种新型电子光学仪器。广泛应用于化学、生物、医药、冶金、材料、半导体制造、微电路检测等。各个研究领域和工业部门。
蔡司扫描电镜利用材料表面微区特性的差异（如形态、原子序数、化学成分或晶体结构等），并在电子束的作用下通过样品的不同区域产生不同的亮度差异，从而获得一定的对比度图像。成像信号有二次电子、背散射电子或吸收电子，其中二次电子是最重要的成像信号[2].图3是其成像原理图。高能电子束轰击样品表面，激发样品表面的各种物理信号，然后用不同的信号探测器接收物理信号，并将其转换成图像信息。
除了检测二次电子图像，SEM还可以检测信号图像，如背散射电子，透射电子，特征X射线和阴极发光。其成像原理与二次电子像相同。在进行电子显微镜观察之前，对样品进行相应的处理。
松江扫描电子显微镜是一种多功能的仪器，具有许多优越的性能，是应用最广泛的仪器。它可以执行以下基本分析：。
1. 纳米材料的观察：具有极高的分辨率，可观察组成材料在0.1—100 nm范围内的颗粒或微晶尺寸，以及在保持表面清洁的条件下加压成型得到的固体材料。
2. 材料断口分析：景深大，图像立体感丰富，具有立体形态。能从断口上呈现材料断裂的本质，可用于材料断裂原因分析、事故原因分析、工艺合理性判断等方面。方面是一个强大的工具。
3. 大样品原始表面的直接观察：可直接观察直径100mm的样品，高度为50mm，或更大尺寸，对样品的形状没有任何限制，而且还可以观察粗糙表面，这就省去了制备样品的麻烦，并且可以实际观察到样品本身不同物质成分的对比度（背散射电子像）。
4. 厚样品的观察：在观察厚样品时，可以获得很高的分辨率和最逼真的外观。
5. 观察样品每个区域的细节：样品在样品腔中可以在非常大的范围内运动，在三维空间中可以以6个自由度运动（即三维平移和三维旋转）。对不规则形状样品的各个区域的观察带来了极大的方便。
6. 在大视场和低倍率下观察样品用扫描电子显微镜观察样品的视野是很大的：大视场和低倍率观察样品的形态在某些领域是必要的，如刑事侦查和考古。
7. 从高倍到低倍的连续观察：扫描电子显微镜的放大范围很宽（5～20万次连续可调），调焦后可以从高倍率到低倍率，也可以从低倍率到高倍率。
8. 生物样品的观察：由于电子照射表面上的样品的损伤和污染都很小，这对于某些生物样品的观察尤为重要。
9. 动态观察：样品室若配有加热、冷却、弯曲、拉伸、离子刻蚀等附件，则可观察相变、断裂等动态变化过程。
10. 从样品的表面形貌中获取多重信息：由于扫描电子图像不是同时记录的，所以将其分解为近100万块，依次记录。蔡司扫描电镜除了可以观察表面形貌外，还可以分析成分和元素，以及通过电子沟道图案进行晶体学分析，所选区域的大小可以从10μm到3μm。
由于蔡司电镜的上述特点和功能，它越来越受到科研工作者的重视，得到了越来越广泛的应用。目前，扫描电子显微镜已广泛应用于材料科学中。（金属材料、非金属材料、纳米材料）、冶金、生物、医药、半导体材料与器件、地质勘探、病虫害防治、灾害（火灾、失效分析）鉴定、刑事侦察、宝石鉴定、产品质量鉴定和工业生产中的生产过程控制等。
